| 모델 | FoV (mm) | 측정 범위 (mm) | X-분해능 (㎛) | Z-반복성 (㎛) | 표면 경사 (mirror) | 
|---|---|---|---|---|---|
| HPS-LCF1000 | 6 | 3.2 | 2.9 | 0.1 | ±20.5 | 
| HPS-LCF2000 | 6 | 2.5 | 2.9 | 0.25 | ±15 | 
| HPS-LCF3000 | 13 | 6 | 6.3 | 0.15 | ±13.5 | 
| 스캔 속도 (full measurement range) | 5,000Hz | 
|---|---|
| 스캔 속도 | 최대 35,000Hz | 
| data points 수 | 2,048 | 
| 공급 전원 | 24V DC | 
| 보호 등급 | IP55 | 
| 사용 온도 | 0°C ~ 50°C | 
| 사이즈 | LCF1000 : 397 x 449.3 x 106 (19kg) LCF2000 : 260 x 340 x 70 (10kg) LCF3000 : 384 x 487.6 x 105 (20kg)  |